二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102 #293811556 待售
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ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102是用於開發和制造高精度集成半導體器件的光刻設備。該系統包括一個精密抗蝕劑分發器、一個抗蝕劑剝離器、一個光致抗蝕劑吊艙、一個光學顯微鏡、一個熱板和一個自旋速度計。抗蝕劑分發器可以將所需的光致抗蝕劑溶液精確分配到矽片上。熱板可以均勻地加熱晶片,抗蝕劑剝離器從晶片中除去任何不需要的光致抗蝕劑。光致抗蝕劑吊艙包含一個可見光源、一個冷凝器透鏡和一個晶片支架的來源。顯微鏡用於可視化晶圓表面,自旋速度計記錄晶圓的自旋速度。USI UH 102專為微加工工藝而設計,提供卓越的圖樣分辨率,提高邊緣清晰度和光刻塗層光滑。該裝置能夠以最高的精度抽出和計量所需的光致抗蝕劑。其精密分配技術即使在高速下也能提供均勻一致的塗層。晶片經過精確的光學傳輸和掃描,確保了光刻膠的精確位置和厚度。熱板提供了均勻的溫度分布,從而消除了晶圓上的冷熱點,而自旋速度計則精確地測量了自旋速度。ULTRON SYSTEMS INC UH 102利用精密軟件精確測定光刻膠參數及其監測。這種復雜的軟件允許高精度的陣列和快速的周轉時間。機器的軟件還能夠記錄和分析數據,允許對光刻膠過程進行深入分析。UH 102操作和維護簡單,提供可靠性和成本效益。其先進的設計和技術允許清潔和高效的操作,質量的材料和組件。ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102還附帶了旨在優化生產力和提高效率的附加配件。這些附件包括探測站、基板和通量儲層。總之,USI UH 102是一種高精度、集成的光致抗蝕劑工具,在微加工過程中表現出色。它利用精密的軟件來確保抵抗打印過程的準確性和一致性,從而避免常見的打印錯誤。其用戶友好的設計和可靠的組件使其易於操作和維護,提供卓越的性能和成本效益。
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