二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 110 #9394210 待售

ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 110
ID: 9394210
晶圓大小: 3"-6"
Flim stripper, 3"-6".
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 110是為高精度光刻應用而設計的光刻設備。該系統采用專有的光刻技術,在工藝的各個階段結合了多種先進的光刻技術。光致抗蝕劑單元可用於深紫外線、近紫外線、真空紫外線照射等光刻工藝,對細間距結構具有高分辨率成像能力。光刻機提供卓越的分辨率,特別適合微光學、MEMS制造等先進技術,由於其出色的分辨率、高對比度、出色的蝕刻特性。它具有比其他光刻膠更好的性能,允許更高的分辨率圖像和更寬的工藝窗口。該工具提供了三維結構,可以高精度地創建小至10-20 nm的特征。它具有非常薄的抗蝕性輪廓厚度,可以精確控制,從而可以更好地控制輪廓形狀和性能。它還具有較高的對比度,因為它對UV光的靈敏度較高,這對於創建逼真的特征非常有用。USI UH 110設計緊湊,提供集成的組件包,可提高整體性能並降低成本。此外,該資產是高度可定制的,允許為客戶的特定應用程序輕松集成到現有光刻系統中。該模型還具有很高的縱橫比公差,允許更好的對齊特征和改進的光刻性能。此外,它具有很高的抗蝕刻能力,並且由於其較厚的輪廓而沒有帶狀或不均勻的圖案。它對普通的光敏溶劑也有極好的抗性。總體而言,ULTRON SYSTEMS INC UH 110是一種高性能的光刻設備,為光刻應用(如微光和MEMS制造)提供卓越的性能。由於其出色的分辨率、高對比度和出色的蝕刻特性,它是一系列光刻工藝的理想系統。它還具有高度可定制和用戶友好的特點,能夠為客戶的獨特需求提供最佳性能。
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