二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114-8 #293671773 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114-8是為大體積微電子器件制造而設計的高性能光刻設備。光刻膠系統由一個堅固可靠的化學分配單元組成，用於將光刻膠精確地分配和擴散到基材上。將氣刀和旋轉塗料與分配機集成在一起，以確保光刻膠在基板上的塗層均勻。該工具通過其先進的控制界面提供高精度的分配和塗層過程控制，從而可以對資產進行精確的編程和操作。化學分配模型由強大的電動機和堅固的運動階段組成，能夠快速準確地將光刻膠分配到基板上。其設計具有高流量的高流量處理和改進的循環時間。配電設備與氣刀模塊集成，在基板表面提供均勻分布的光刻膠和自動旋轉塗層，確保光刻膠均勻分布在基板上。USI UH 114-8還具有多級自動旋轉塗層，實現了系統的高精度控制。該自旋塗層具有專利技術，可提供高均勻性和均勻的顆粒層次感，具有較高的光阻厚度。該單元還設計了一個腔室吸塵器，以方便去除顆粒和揮發物的清潔基板表面。此外，配電工具還配備了先進的數字控制器，可以微調配電和塗層參數。這樣可以改進過程管理,提高產量和產品質量。數字控制器還可以方便地設置和編程分配和塗層過程。總體而言，ULTRON SYSTEMS INC UH 114-8是一種為大體積微電子器件制造而設計的堅固可靠的光阻資產。它具有高流量化學分配模型、氣刀和自動旋轉塗層，以及先進的數字控制器，用於精確的過程控制和易於設置。該設備保證了光刻膠在基板上的準確、均勻的應用，提供了優越的產量和產品質量。