二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114 #293657345 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293657345
晶圓大小: 6"
Tape mounter, 6"
Vacuum-securing standard wafer stage: Up to 6" / 3"-6" multi-chuck
Spring-loaded roller assembly
Film tensioner
Uniform adhesion provides bubble-free lamination
Circular cutter (wheel-type) for cutting film on film frame
Adjustable cutting pressure for different film
Digital temperature controlled platen
Adjustable work stage height from top of unit
Operate with non-backed or backed film
Accommodates film/protective layer wound on the outside or inside
Adjustable alignment pin and vacuum cup
End cutter for film separation
Protective film take-up roller assembly for use with film with backing layer
Power supply: 115 VAC, 3 Amps, Single phase, 50/60 Hz.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114是一款高性能的光刻膠設備，旨在滿足芯片制造商、光刻膠供應商和鑄造廠的需求。該系統提供卓越的圖像質量和均勻性，具有精確的曝光參數控制和抗蝕層厚度均勻性。它配備了先進的UV成像技術，搭配獨特的三軸級進行精確的叠加對準。該單元設計用於實現超高分辨率光刻工藝,分辨率高達0.2 μ m。它利用頂級LED成像,提供卓越的線寬分辨率,並具有廣泛的動態範圍。機器使用Pre-BAW技術，與傳統的二進制掩模對齊器系統相比，允許更快的曝光、更快的圖像工件求解和更大的曝光場。該工具還能夠支持不同晶圓尺寸的多個操作配方,從而實現優化圖像質量和加快吞吐量的靈活性。其集成成像資產能夠處理8「、12」、16「和18」晶圓。它專為大批量生產環境而設計，故障率非常低，對齊時間明顯縮短。該模型為圖像質量提供了全面的過程優化,具有自動邊緣對齊、晶圓縫合和邊對邊均勻性。該設備還提供了方便地適應新的光刻膠配方和工藝配方要求的靈活性，從而能夠支持不同的設備和技術。曝光系統在具有挑戰性的IC模式方面取得了優異的效果,具有出色的對齊和叠加功能,並最大程度地減少了特征寬度誤差。該單元的人體工程學設計使操作員能夠方便地進入，並且易於調整晶片的位置和操作。USI UH 114專為最優質的工業應用而設計,是經濟高效的產量改進和增值應用的理想選擇。該機為移動和高端半導體IC器件、MEMS和光罩生產等應用提供了高度可靠的光刻性能。
還沒有評論