二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114 #9237154 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114是一種光刻設備，設計用於利用光源蝕刻和開發矽晶片以實現精確性能。利用先進的光成像技術，USI UH 114在直徑達200 mm的晶片上實現了精確的曝光光刻膠圖像圖樣，並塗上了高質量的抗蝕劑。光刻膠系統有一個全自動的軌道和對準單元和先進的自動噴霧工藝，在各種矽片精確的性能。ULTRON SYSTEMS INC UH114能夠精確地控制均勻性、過程速度、直線對準和全局對準特性。它還能夠確定最佳的處理參數,以獲得最佳的抗拒輪廓性能。該機器采用高分辨率（HR）步進器，為用戶提供高保真成像和精確的曝光控制。步進器提供了打印高清平版圖像所需的過程重復性和準確性。UH114能夠利用各種相片掩模類型,包括但不限於石英、石英鉻（EtchMask）、玻璃和GaAs。該工具還支持高速晶圓運動，允許更高的收益率。UH 114可以根據客戶喜好在兩個、三個或四個曝光模式下運行。在兩種曝光模式下，晶片同時暴露於兩個光刻膠層中。在三種曝光模式下，在光致抗蝕劑層之間包括一個透明的薄膜層，以增加均勻性和減少交叉光暈。在四個曝光模式下，洪水曝光被用來將光抗蝕劑均勻地應用於整個晶片表面。ULTRON SYSTEMS INC UH 114還具有主動診斷功能,以確保在蝕刻分離和開發過程中完全滿足每種光掩模模式。設有濕蝕刻檢測站，可讓使用者檢測光掩模後蝕刻及開發，以確保高產。此外，資產還有一個集成驗證站，用於檢查晶圓表面是否有任何缺陷。ULTRON SYSTEMS INC/USI UH114集成了先進的技術,以提高運行性能和高精度的結果。安全的配置模型可確保精確的可重復過程和提高晶圓產量。它旨在在可靠的操作環境中為用戶提供可靠的結果。