二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #293767011 待售

ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130
ID: 293767011
晶圓大小: 6"
Die matrix expander, 6".
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130光刻設備是一種先進的用光刻材料塗覆基板或光掩模的系統。該裝置采用三軸龍門,能夠進行垂直、水平和橫向運動,以便在各種形狀和大小的基板或面罩上精確地施加光致抗蝕層。USI UH 130擁有高分辨率,在所有方向上都有3微米的精確度,其高精度允許將非常薄的光刻膠層應用於基板或蒙版。該機還配備了多項自動化功能,使用戶能夠快速、輕松地設置和完成其光刻塗層任務。ULTRON SYSTEMS INC UH 130采用了一種專利噴嘴設計,允許對具有最少廢物的光刻材料進行精確計量。該工具還利用一種高分辨率的視覺資產來精確地對齊基板或掩模與被應用的光刻膠。這樣可以確保應用過程可重復且準確,同時消除與傳統光刻塗層工藝相關的體力勞動。UH 130的自動化功能還可以提高吞吐量和生產率。可以選擇自動曝光、曝光後烘烤和曝光後延遲,以提高光刻塗層工藝的速度和可靠性。還可以使用可選的自動厚度測量工具來確保塗層在指定的厚度公差範圍內。該型號還配備了緊急關機按鈕和機器聯鎖等安全功能,以及用於指示機器運行潛在危險或事故的警報。此外,ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130在CSA/UL上市,符合NFPA 79電氣安全標準。USI UH 130是光刻塗層工藝的絕佳選擇,提供高分辨率、自動化功能以及高度的安全性和可靠性。它旨在幫助降低人力成本,同時提高吞吐量和生產率。其多種特性使其成為各種光刻塗層應用的理想選擇。
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