二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9096008 待售
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單擊可縮放
ID: 9096008
晶圓大小: 2"-3"
Die Matrix Expander, 2"-3"
Table-top
3" Stroke with speed control and adjustable ram height
Digital temperature control
115 V, 3 A, 1 Ph, 50-60 Hz.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130是一款最先進的光刻設備。該系統旨在為用戶提供最高水平的光刻特性和超高分辨率成像。該單元的主要部件是Novelon-TM多層抗蝕劑和機器控制器,它允許精確調整曝光水平、分辨率和可重復性。這種光刻工具還具有高分辨率光學器件和成像資產。所使用的光學元件包括一個高NA光學柱與一個超高解析度的蒙版配對,具有1.2微米的像素間距和分辨率,比傳統的光學光刻系統高。成像模型可以同時顯示多個抗蝕層,允許用戶以高精度創建金屬、半導體或多層抗蝕層圖樣。成像設備還與計算機控制的機動平臺集成在一起。該平臺允許用戶輕松放置、移動和旋轉基板,在保持基板完整性的同時更容易獲得所需的對齊方式。除了高分辨率光學和成像之外,USI UH 130還包括提供自動曝光和采樣功能的高級軟件程序,以及內置的預設曝光配方庫。此程序可用於針對各種材料和工藝要求定制曝光序列。ULTRON SYSTEMS INC UH 130在半導體和印刷電路板行業有廣泛的應用。該系統可用於創建圖樣,如通過插頭、多層抵抗特性、高長寬比孔和高分辨率線寬。其用途廣泛的成像單元允許低過度噴射,使其非常適合印刷電路板的生產。總之,UH 130是尋找頂級光刻特征和高分辨率成像的用戶的理想選擇。該機先進的機動化平臺、高NA光學器件以及自動曝光和采樣功能,使其成為可靠且高度精確的光阻工具。
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