二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9123400 待售

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ID: 9123400
Die matrix expander Includes manual.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130是一種用於超小型集成電路光刻生產的高性能光刻設備。該系統由多個組成部分組成,包括:一個防腐劑應用和開發單元、一個成像單元、一個掃描儀單元、一臺計算機控制機器和一個廢物清除站。該工具旨在利用光波和紫外線輻射在矽或玻璃基板上制作圖像。抗蝕劑的應用和開發單元具有一個將抗蝕劑以液體、蒸氣或半固態形式保存的腔室。然後,該腔室允許將抗蝕劑塗層均勻地塗在基板上,並使用氮氣噴出腔室除去任何多余的材料。成像單元使用兩個光學立方體,一個4-plex和一個6-plex,將光波聚焦到基板上。這種曝光允許在光致抗蝕劑層中創建預定的曝光模式。掃描儀資產使用高速掃描儀頭在成像單元周圍移動基板。這款機型能夠分辨出300納米的特性,允許曝光速度高達每秒25厘米。計算機控制設備使系統能夠精確運行,並具有用戶友好的GUI,便於設置和調整曝光參數。最後,廢物清除站清除了多余的抗蝕劑以及任何空氣汙染物,確保了設備的高度清潔。總體而言,USI UH 130光刻機是一種強大可靠的工具,用於生產超小型集成電路的光刻。此工具能夠以較高的精度和準確性執行操作,同時還可以通過其簡單的GUI輕松進行設置和操作。對於那些希望生產超小型集成電路的人來說,這一資產是一個理想的選擇。
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