二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9182148 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130是一種由光掩模、投影光學器件和微型批處理環境組成的光阻設備。該系統用於在矽片、玻璃滑梯等基板上應用微圖樣。該單元的投影光學器件能夠提供大視野和高分辨率，從而產生非常復雜的特征。機器的光掩模能夠容納各種大小和形狀的圖案，由一塊4 「X 6」石英板組成。石英板是將紫外線（UV）光傳遞到基材的車輛。紫外線在感光材料中引起化學反應，使其變硬或溶解。該工具的投影光學器件設計為提供一個清晰的投影視場，其大小足以一次容納幾個基板。光學器件由透鏡、真空外殼、四向偏振分束器立方體和可調光圈組成。這種安排允許圖樣精確投射到基板上而不會失真。USI UH 130的處理環境是為小批量處理而設計的。這意味著一次只能處理少量基板，每批只需幾秒鐘即可完成。過程完成後,可以手動篩選基板以識別任何可能的缺陷。ULTRON SYSTEMS INC UH 130資產的關鍵特性使其成為芯片制造商和其他需要生產小型復雜模式的組織的理想解決方案。模型操作快速準確，環境可以容納小批量基板。此外,可以快速識別篩選過程中發現的任何缺陷,從而快速解決問題。最終，設備的能力使各組織有能力生產高質量的微電子元件。