二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9398881 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130是一款為先進生產線應用而設計的光刻設備。該系統旨在加速生產，提高精度和效率，降低成本。用於微電子工業、IC制造和研發應用。該裝置利用塗覆在基板上的先進光刻膠層。當用紫外線光源照射時，光刻膠材料會關閉，露出與基板圖案相對應的透明圖案。這種透明圖案可用於精確蝕刻、幹燥或加熱基板。USI UH 130機的先進特性包括其對曝光時間的自動控制、UV光源強度、基板與光源的距離等參數。它提供了比手動曝光方法更好的可重復性和準確性。此外,該工具還包括高級安全功能。它具有防止暴露於紫外線的保護罩、防止意外暴露的安全互鎖資產以及在檢測到任何異常操作時會關閉電源的安全互鎖模型。ULTRON SYSTEMS INC UH 130設備設計用於大批量生產環境。可用於短跑和5000件以上的長跑。它與各種尺寸的基材兼容，能夠處理面積達5200 cm2的12英寸晶圓。總體而言，UH 130光刻膠系統是為先進的生產線應用而設計的。它是一個自動化的單元，為蝕刻、幹燥或加熱帶有光致抗蝕劑層的基板提供了改進的重復性、準確性和可變性。它還具有保護操作員免受紫外線和危險條件影響的安全特性。