二手 ULTRON UH 101 #142775 待售

ULTRON UH 101是一種光阻設備，用於制造集成電路和先進的微型設備。光致抗蝕劑是在暴露於光下時改變其化學或物理性質的材料，可用於將圖樣轉移到基板上。傳統的光致抗蝕劑配制有一個堿基層，通常是一種感光聚合物，以及一種表層塗層，它通常含有一種化合物，不溶於蝕刻過程中使用的顯影劑。UH 101系統是集成電路生產的用戶友好且經濟高效的解決方案。該單元由4層抗蝕劑和層間抗蝕劑組成。4層抗蝕劑結合了感光聚合物和表層塗層，並配有單層光致抗蝕劑材料。這減少了過程的數量，降低了光刻的復雜性。層間抗蝕劑提供了額外的保護層，具有增強的粘附性能和改進的屏障性能，防止了蝕刻過程中層間的解偶聯。ULTRON UH 101機器還具有內置的激活和蝕刻工藝，其設計目的是通過允許均勻的蝕刻速率來減少圖案化層中的缺陷。此外，UH 101工具可以與各種光掩模配合使用，這種光掩模可以創建比使用其他光刻膠系統更精細的復雜圖樣。這種靈活性使ULTRON UH 101資產成為微加工和其他需要高分辨率陣列的應用的絕佳選擇。綜上所述，UH 101是為集成電路生產而設計的光刻膠模型。該設備提供了一種經濟、用戶友好的解決方案,具有4層抗蝕劑和層間抗蝕劑,以及內置的激活和蝕刻工藝,可減少缺陷。ULTRON UH 101系統可搭配多種光掩碼使用，是高分辨率微機械加工的理想選擇。