二手 ULTRON UH 104 #9228783 待售
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ULTRON UH 104是專為制造亞微米集成電路而設計的光刻設備。它提供了增強的成像性能,使用戶能夠為最復雜的設計應用程序實現高分辨率模式。該系統利用專有的數控技術來實現準確性和易用性。該裝置具有令人印象深刻的功能集,包括6軸精確對準裝置、自動調整材料尺寸、精確的光束和點火功率控制以及非接觸式載荷。這種功能組合有助於確保成像過程的精確度和可重復性。該機器采用復雜的模塊化設計,簡化了維護和升級。它還包括一個獨特的兩個用於材料沈積的繃帶內輸送機。雙帶設計防止材料汙染,為光刻工具的每一層提供了高度可靠的基礎。UH 104還得益於自補償梁偏轉資產,從而提高了圖樣放置和對準的精度。偏轉器包括一個伺服控制液體透鏡,以確保準確和實時的模式放置。此外,該模型還配備了多目標色帶控制設備,使操作員可以手動調整每條色帶的曝光時間和劑量強度。此高級控制功能可確保所有光刻膠層厚度在整個過程中都是理想且一致的。此外,該系統具有高真空系列,利用充氣靜電室為光敏裝置創造更一致的真空環境。利用該腔室,該機可實現亞微米特性尺寸性能。總體而言,ULTRON UH 104是一種先進的光阻工具,旨在為用戶提供最復雜的設計應用程序所需的高精度和可重復模式。復雜的設計和功能集使用戶能夠以最小的努力快速輕松地創建精確的模式。該資產非常適合制造亞微米集成電路,因為它為用戶提供了增強的成像性能和可靠的精度。
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