二手 Unknown BPE-2000W #9282437 待售

SteamUnknown Unknown BPE-2000W是為微電子和半導體工業應用而設計的光刻設備。這種高度通用的系統可用於各種基板上的光刻結構的蝕刻、圖案、修飾和修復。該裝置采用了一種新的電化學工藝，稱為Property-Aid，利用位於不同電位的兩層光刻膜產生的高壓差速器，促進蝕刻過程中的選擇性。這樣就可以在不需要蒙版的情況下蝕刻封閉的幾何形狀,同時創建統一的結構並保持基板的完整性。該過程開始於在所需的基板上對光刻膠薄膜進行自旋塗層。BPE-2000W臺機器利用藍光照射和激活光刻膠,以實現選擇性蝕刻、最小橋接、更高的退火溫度和改進的邊緣變化控制。在輻照過程中，采用光學密度計來保證曝光層的均勻性，開發的配方根據底物組成、蝕刻深度和假定的光敏膜粘附度選擇最佳輻照參數。一旦照射完成，兩層光敏膜連接到兩個電極上，下一層連接到地面，上一層連接到高壓。Property-Aid過程使用未知BPE-2000W工具提供的受控電流啟動,以將圖樣蝕刻到光敏膠片中。性能輔助工藝還可以補償蝕刻周期中基板溫度的升高。一旦圖樣被蝕刻，後處理階段可以由各種過程組成，包括切丁、翻轉切屑、反向蝕刻以及通過形成，這取決於應用程序。BPE-2000W資產具有內置的防塵功能，可防止顆粒在後處理階段進入光刻膜。未知的BPE-2000W模型還可以提供最佳蝕刻步驟,最大限度地減少手動調整的需要,並增強微加工過程中的均勻性和吞吐量。總之，BPE-2000W設備是一種適用於微電子和半導體工業的多用途、可靠的光阻系統，旨在蝕刻閉合幾何形狀，保持基板完整性，改善邊緣變化控制。通過使用Property-Aid工藝，可以在不需要掩模的情況下蝕刻光敏結構，後處理可以由多種工藝組成，以獲得最佳效果。這種可靠的設備旨在最大限度地提高均勻性和吞吐量,同時確保防塵和易於手動調整。