二手 USHIO UXM-2400P #9142455 待售

USHIO UXM-2400P是一種光阻設備，設計用於生產用於各種醫療和工程應用的高分辨率微結構。該系統融合了寬色散脈沖激光器、高對比度和高分辨率反射鏡、雙軸數字伺服模式發生器等先進功能。該裝置能夠產生小至100 nm的特征，並具有適合於許多微加工過程的均勻光分布。UXM-2400P使用的激光是UV頻率加倍的Nd： YAG，頻率為393nm，脈沖長度為100 ns。Nd： YAG激光器提供了一種高容量的紫外線輻射源，這是燒蝕光致抗蝕劑層所必需的。USHIO UXM-2400P還配備了先進的控制機器,用戶可以精確調整諸如功率、脈沖持續時間和脈沖速率等參數,以獲得所需的結果。該工具可以在兩種模式下操作：曝光模式和模式模式。在曝光模式下，光致抗蝕劑在短時間內暴露於激光脈沖，然後被移除。模式模式允許最多增加30秒的曝光時間,從而可以創建更復雜的形狀。UXM-2400P具有集成成像資產,用戶可以實時查看過程。該模型由遠心光學成對和高分辨率攝像機組成，用戶可以在曝光時觀察光刻層。這可幫助用戶識別過程中可能出現的任何問題。然後利用曝光後烘烤和濕加工功能完成光刻工藝。曝光後烘烤允許用戶在烤箱中幹燥光刻膠層，而濕加工則在蝕刻室或噴霧提取設備中進行。綜上所述，USHIO UXM-2400P是一種設計用於生產高分辨率微結構的光刻膠系統。它融合了寬色散脈沖激光器、高對比度和高分辨率反射鏡，以及雙軸數字伺服模式發生器。該裝置有一個成像機實時觀察過程，以及曝光後烘烤和濕法加工的特點。這些特性使微結構在各種醫學和工程應用中的精確制造成為可能。