二手 VARIAN Custom #182056 待售
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ID: 182056
Stainless Steel Vacuum Coater System
Includes:
4 pocket egun
Quartz heaters
Solid state ebeam power supply
5cm ion mill
30cfm mechanical pump
GE PLC controller
ic5 crystal controller
CTI 10 cryo pump.
VARIAN Custom是一款先進的光刻設備,旨在為半導體蝕刻和制造提供高精度和經濟高效的光刻工藝。光敏材料是一種光敏材料,用於在半導體晶片或其他基板上創建圖樣或圖像。當暴露於特定波長的光時,光致抗蝕劑會改變其化學成分,導致暴露或未暴露的區域。利用這些暴露和未暴露的區域,電路、天線和其他電路可以蝕刻到晶片上。與傳統的光刻系統相比,Custom提供了卓越的性能,因為它具有許多可定制的功能,允許用戶更準確地控制其光刻過程。該系統具有先進的光阻層功能,可實現出色的「工藝窗口」性能。VARIAN Custom photoresist unit也因其先進的成像特性提供了卓越的分辨率和非常低的缺陷。它有一個創新的成像機,包括一個電光調制器來調節光束的強度和焦點,使高分辨率的圖樣。此外,該工具還采用激光誘導前向轉移(LIFT)聚焦和對準技術,用於精確的聚焦控制和平滑的特征劃線。此外,Custom還提供自動分配控制,允許用戶使用易於使用的軟件調整所需的陣列參數。更重要的是,該資產有一個內置的溫度控制單元和一個先進的圖樣光學反饋模型,以實現最大的工藝可靠性。總體而言,VARIAN Custom是一種先進的光刻設備,旨在為在半導體晶片或其他基板上創建圖樣或圖像提供高效的光刻工藝。與傳統的光刻膠系統相比,此系統提供了卓越的性能,具有先進的成像和分配控制選項以及其他可定制的功能。因此,Custom可以幫助用戶節省時間和金錢,同時生產優質產品。
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