二手 VERTEQ 1600-2 #9169238 待售

VERTEQ 1600-2設備是一種先進的光刻膠生產系統，旨在創造低至0.2 µm的特徵尺寸，同時保持高精度和重復性。這個單元由一臺送貨機、一個控制器以及一個光刻塗層和曝光過程模塊組成。送貨工具包括一個微型定位機器人，用於精確移動安裝在主軸上的基板。模具功能允許各種基板和尺寸。這提供了高精度和低延遲,負載和卸載時間為3秒。主軸使用標準螺距來容納各種各樣的基板和基板尺寸,以便於使用。板載控制器具有可編程邏輯控制器（PLC），它與光學資產接口集成，用於自動提取、交付和定位。使用此界面,獨一無二的通用設計允許從各種基板類型中獲取和記錄測量結果,並將特征和數據存儲在連續的數據跟蹤中。PLC用單獨的編程庫進行編程，以控制機器人的運動、主軸的加速和減速等因素。最後，尖端光致抗蝕劑工藝模塊在有源區域提供了一個非常好的均勻性，用一個特殊的算法來精確匹配基板尺寸和形狀輪廓。此模塊提供了對抗蝕劑厚度的出色控制,可在各種塗層厚度上精確控制抗蝕劑厚度。通過使用模塊的專用光學器件和光掩碼,可以實現高精度、高再現能力。總體而言，1600-2型光刻膠是為真空沈積而設計的，可抵抗0.2 µm的尺寸。可編程PLC和智能交付設備可確保高精度和重復性。特殊的光學器件可以精確控制抗蝕劑的厚度和在活動區域上的出色均勻性。VERTEQ 1600-2是光抗蝕劑在半導體、微電子和生物技術行業應用的絕佳選擇。