二手 VERTEQ 1600-3 #293758511 待售

VERTEQ 1600-3是一系列專為滿足半導體工業需求而設計的光阻系統。它是一種全自動設備，設計用於提供快速、精確的光敏塗層工藝，可與各種光敏塗層和基板一起使用。它使用專門的系統來精確控制光敏塗層的輻照，並且可以處理包括200和300毫米晶圓在內的各種基材尺寸。1600-3使用具有集成晶圓噴塗單元的模塊化分配單元塗抹厚度均勻的塗層。這樣可以在整個基板上均勻塗層，即使在復雜的圖樣區域也有均勻的斑點。該機配備獨特的反射率測量工具，利用激光二極管精確測量基板和光敏塗層的反射率。這確保了在所有類型的基板上，包括金屬基板上都能達到均勻的塗層厚度。VERTEQ 1600-3還裝有一個集成的晶圓比例分配室，通過針頭確保精確的塗層沈積，采用定制的噴嘴技術。這使用戶能夠在不犧牲控制或精度的情況下，在大面積上精確地沈積光敏塗層。該資產還具有溫度控制的幹燥烤箱，進一步確保了均勻的塗層厚度。1600-3還具有反射晶片級,在塗層過程中可以旋轉。這允許均勻的噴霧覆蓋，即使是在具有復雜圖樣的基板上。該型號還配備了可選的自動晶片跟蹤設備，進一步增加了塗層工藝的精確度。光刻膠系統還包括幾個安全特性。該裝置包括一個安全櫃子，裏面裝有塗層過程中產生的氣態和顆粒狀汙染物的痕跡，以及一個有助於確保清潔工作環境的HEPA過濾器。機器還包括一個緊急電源切斷和一個帶有警報的監視器，可以在工具處於不安全狀態時向用戶發出警報。總體而言，VERTEQ 1600-3是一種高度先進的光刻膠資產，提供精確的光刻膠塗層工藝。它配備了晶片比例分配室、溫控幹燥爐、集成晶片跟蹤模型、反射率測量設備、安全櫃等多種特性。這些特性使其成為一種用途廣泛、可靠且安全的光致抗蝕劑系統，可用於半導體工業。