二手 VERTEQ 1600-3 #9196056 待售

VERTEQ 1600-3是一種最先進的三束光刻設備，用於成像各種抗蝕劑。它具有先進的激光源、光學系統和靈敏的光學探測器，以確保精確的結果。當成像變量抵抗大基板上的厚度時,該單元可提供高吞吐量、高分辨率和高吞吐量精度。1600-3利用三個截然不同的激光束進行大面積掃描，並配有近場光學探測器，以確保在廣泛的抵抗厚度範圍內獲得準確的結果。激光源由強大的控制軟件驅動，能夠提供高吞吐量的性能。光學系統采用專利NanoFeedback™技術，主動監控成像條件，以優化精度和吞吐量。內置配方管理機器允許快速配方編輯和校準過程參數。該工具也是高度模塊化的，可以配置用於生產光刻應用。各種基板管理選項可用於基板處理、基板座椅和基板間距控制。除了成像之外，VERTEQ 1600-3資產能夠以高達每小時25個晶圓的三維映射和成像吞吐量。該模型獨特的設計還允許高精度真空設備自動化，從而在成像過程中產生更好的附著力和性能。此外,該系統還具有自動成像配方庫,便於檢索和編輯現有配方。總體而言，1600-3光敏裝置為不同厚度的抗蝕劑提供可靠和準確的成像。該機器強大的設計、通用的激光源和靈敏的探測器使其成為從多路復用到掩蔽和成像等一系列光刻應用的理想選擇。