二手 VERTEQ 1600-3 #9209716 待售

製造商
VERTEQ
模型
1600-3
ID: 9209716
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1600-3是專為精密晶圓處理而設計的光阻設備。這一經驗證的系統在半導體工業中得到廣泛應用,用於在光刻塗層、曝光和光電結構開發等關鍵工藝上取得高質量、可重復的結果。1600-3具有緊湊的鑄鋁框架,可輕巧耐用,適用於移動和工業應用。它具有一個全輪廓、z軸高度調整單元,用於晶片板的最佳垂直位置。它還配備了旋轉晶片夾,以確保均勻的曝光均勻性。這臺機器包括一個全光譜,氙基圖像投影機,具有自動對焦的卓越的光學性能。它得到各種軟件模塊的支持,這些模塊需要產生各種攝影分辨率,並能夠準確控制曝光能量的流動。它還具有一個全面的索引工具,可以精確定位和掃描晶片板VERTEQ 1600-3有兩個預先安裝的用於塗層、曝光和開發過程的工藝室。它配有用於均勻分布塗層材料的不銹鋼壓板和用於去除任何殘留光刻材料的反面壓板。所有功能通過封閉的觸摸屏用戶界面控制,該界面具有清晰、全彩色的圖形和簡單的用戶友好菜單,便於操作。1600-3提供了一套綜合性的光敏化學套件,外加全方位的配件,包括晶片編子、載體和攪拌器。該資產經過預先驗證,能夠用於加工直徑不超過13英寸的基材。VERTEQ 1600-3是一個專業的、高質量的p耐熱劑模型,為一系列臨界光敏劑工藝提供了優異的效果和易用性。它體積小,可以在各種不同的環境中使用,對於那些尋求具有卓越性能特性的可靠、可重復的解決方案的人來說,它是完美的解決方案。
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