二手 VERTEQ 1600-34 #293590150 待售

VERTEQ 1600-34光抗蝕劑設備是一種高精度的塗層和成像系統，旨在協助生產電子工業的晶圓級集成電路。此單元提供光刻性能,具有一致的圖像質量和均勻性,以及從頭到尾快速準確的塗層和成像。該機設有具有精確運動平臺的真空塗層室、高性能光學元件和自動化過程控制。1600-34工具具有300-600mm的占地面積,專為精確、可重復的塗層和成像結果而設計。真空塗層室由兩片穿孔的不銹鋼壁組成，其結構具有精確的公差和溫度控制，以確保環境均勻，最大限度地減少熱漂移。一組頂部、底部和側面網格進一步確保沿著面板的整個長度精確沈積。塗層室有一個精確的運動平臺，可實現多功能操作，如基板對準和放置，而無需額外的裝卸。資產中的高級光學組件旨在最大限度地提高光效,並確保整個圖像的清晰、均勻的分辨率。光學級配備了精密的抗反射或真空塗層、紫外線和紫外線可見光源，以及用於精確位置測量的幹涉儀。為了提供自動化的過程控制,VERTEQ 1600-34 Photoresist Model具有內置的PLC控制器,具有可編程級別的過程控制,允許客戶根據產品的特定要求定制其過程。客戶還可以自定義可編程邏輯控制器以設置層厚度、均勻性和其他參數,以獲得最佳的工藝性能。該設備還具有用戶友好、直觀的圖形用戶界面,便於訪問、控制和管理光刻過程。此外，該系統還設計了最大的安全性和效率。它包括一個集成的壓力管理單元和一個緊急停止功能，以確保操作員的安全，而內置的通風機防止空氣中的汙染。對於需要精確、可重復塗層和成像功能的公司來說,1600-34光刻工具是一個理想的選擇。該資產提供卓越的性能和流程,可根據每個客戶的特定應用程序進行更改。