二手 VERTEQ 1600-44 #5954 待售

VERTEQ 1600-44是為集成電路的開發制造和其他先進應用要求而設計的先進光阻設備。它是制造工具的軍械庫中的一種先進武器，因為它在晶圓基板上創建和處理光致抗蝕劑層時提供了高水平的細粒度控制。1600-44是一個完全自動化的系統,能夠在厚度從0.1微米（微米）到250微米的基板上創建高質量的光刻膠層。該單元由一臺特殊的光刻膠分配器機、預處理和曝光系統以及自旋塗層組件組成。該工具允許快速、高效的晶圓處理和處理過程。預處理設備用特殊的表面活性劑/清潔溶液制備晶片基板，然後使用塗覆晶片基板和光致抗蝕劑溶液的自旋塗層組件。對光刻層采用多種曝光技術，如幹涉測量、步進對準和激光光刻。VERTEQ 1600-44的曝光模型能夠高精度地控制光強度和幹涉測量。1600-44的曝光後設備允許光刻膠的快速發展。塗覆在晶片基板上的光刻膠經過化學處理，並通過各種獨特的曝光後工藝，包括曝光和幹蝕刻工藝來開發。這有助於在晶圓基板上創建復雜的圖樣和設計元素。VERTEQ 1600-44還包括一系列的過程控制系統選項，允許在光刻膠過程的每個步驟進行精確的監測和分析。可以監測和調整光學、環境和動力學參數，以優化設備的性能。先進的自動化、精確的監控分析、高質量的光刻膠層相結合，使1600-44機器成為集成電路生產等光刻應用的強大資產。