二手 VERTEQ 1600-55A #9124029 待售

VERTEQ 1600-55A是設計用於半導體制造應用的光阻設備。它是一種精密的臺式機器，用於制造用於光刻工藝的半導體晶片抗蝕劑薄膜。該系統配有精密光學對準單元，可用於高精度、重復性的光刻膠應用。1600-55A包括一個55A晶片裝載機,可容納200毫米、150毫米或100毫米晶片,厚度可達800 µm。它具有快速的循環時間，每秒可進行四次晶圓停止，從而實現高通量生產。該機還具有由步進電機/驅動和外部氣缸驅動的外部氣缸，用於晶圓加載、驅動和定位。光刻膠分配工具包括三個泵（兩個用於負數位數，一個用於正分配）以及一個壓力調節器和混合閥。它有一個選擇的可編程塗層/掩蔽功能，如步驟擴展和角落掩蔽與快速變化的可編程功能。該資產具有高精度、可重復、均勻的抗蝕劑在晶片上的應用能力。光刻膠模型有一個1024點線性編碼器和一個直接數字控制設備，在整個光掩模轉換過程中保持準確性和可重復性。它還配備了用於去除靜電荷的防靜電裝置，以防止塗層膜和晶片受到任何損壞。該機器的設計和制造符合標準的潔凈室要求。它也是由不銹鋼和環氧樹脂塗層組合而成，以保證對酸和堿性化學物質的長期耐藥性。綜上所述，VERTEQ 1600-55A光刻膠系統是一種精密、臺式安裝的機器，用於將光刻膠薄膜以高精度、重復性和均勻性應用於半導體晶片。它設計用於半導體制造，包括一些可編程塗層/掩蔽特性。它也符合標準的潔凈室要求，由耐用材料制成。