二手 VERTEQ 1600-55A #9219682 待售

製造商
VERTEQ
模型
1600-55A
ID: 9219682
晶圓大小: 4"
優質的: 1997
Spin rinse dryer (SRD), 4" 1997 vintage.
VERTEQ 1600-55A是用於生產高精度集成電路的最先進的光刻設備。它能夠產生錯綜復雜的通氣孔和接觸孔,並提供動態和統一的模式,一致的結果。該系統非常適合批量生產需要可靠、一致和精確模式的集成電路組件。該單元由三軸抗塗層級、用於快速基板與基板交換的自動旋轉臺和五軸激光曝光機組成。它利用激光掃描和投影功能相結合,提供多光束和單光束曝光。多光束激光照射通過聚焦多個激光束並將其投射到目標上,允許微觀模式。單束激光曝光只將一束聚焦的激光束投射到目標上,造成更大、更多的覆蓋模式。該刀具設計有四個過程控制參數。參數為光束寬度、光束高度、光束強度和時間。梁寬度定義陣列的寬度,而梁高度則決定陣列的高度。光束強度和時間設置,可以調整以產生不同的陣列模式.這種靈活性允許更好的結果和更高的精度設計。1600-55A還提供了一種自動調節功能,使激光器能夠調整到不同的基板,從而確保一致的塗層精度。此外,它還具有自動交換基板的功能,能夠快速交換基板,節省時間和勞力。總之,VERTEQ 1600-55A光刻資產是大規模生產具有復雜特征和復雜模式的集成電路的理想工具。通過其尖端的激光掃描和投影技術,該模型能夠產生可靠、一致和精確的結果。通過結合工藝控制參數和自動調整功能,設備為用戶提供了定制設計的靈活性以及快速交換基板以實現快速生產的能力。
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