二手 VERTEQ 1600-55M #9123196 待售

VERTEQ 1600-55M是一種高精度的光阻處理設備，生產速率高達55晶圓每小時啟動。它設計用於兩個獨立機櫃中的曝光後烘烤（PEB）和編程熱過程。該系統由兩個可以同時使用的加熱機櫃組成，允許提高晶圓吞吐量和均勻的工藝溫度。它能夠加工多種底物和材料，如矽、多晶矽、磷化銨、砷化​​，以及其他III-V化合物。該設備具有多種選擇,可實現快速、精確的差分泵浦曝光。這包括用於精確零件對齊的X-Y運動機器、自動可編程晶片加載器以及用於一階像差和突出顯示縫合的內部掃描儀工具。還包括一個手動裝載載體，以實現逐個樣本的配方控制。該資產由直觀的圖形用戶界面（GUI）支持,以確保流程的準確性和可重復性。這包括參數調整和配方優化工具。它可以很容易地與其他系統（如FOUP stocker）集成，用於自動裝卸。1600-55M還提供了具有集成過程可追蹤性的高級過程診斷功能,包括二階像差分析。這對於維護過程質量控制非常有用。該模型包括一個遠程支持包,其中包含用於改進客戶服務的電子郵件診斷消息。它還設計用於與大多數清潔室兼容,因此非常適合各種應用程序。VERTEQ 1600-55M是一種可靠的光阻處理設備,可在多種基材和材料上提供更高的晶圓吞吐量、準確性和可重復性。其直觀的GUI和先進的診斷能力使其成為精密行業生產應用的合適選擇。