二手 VERTEQ 1600-55M #9241976 待售

VERTEQ 1600-55M是在微電子、納米級器件光刻應用中用於光刻劑的多功能、強大的曝光設備。該系統為一系列應用提供了多種特性和功能,包括光掩模生產、MEMS、半導體器件制造、納米級制圖和MEMS制造。1600-55M利用一個6英寸的卡盤和一個55英裏的石版師分辨率場來確保獲得準確和可靠的結果。卡盤的表面是平面化的，以達到非凡的平坦度，形成一個均勻的基板，以優化均勻性和圖樣曝光的精度。此外，該單元還配備了高精度的X-Y級，可以準確定位和傳遞圖像穿過基板。此功能可對任何給定的曝光進行精確的圖像配準,並確保光刻膠是均勻的。該機器還配備了集成光束定位器，允許用戶在基板上精確對齊圖像投影儀。這可以實現精確的掩碼對齊,並使用戶能夠輕松地將圖像從一個晶片匹配到另一個晶片。該工具由一個創新的軟件包提供支持,該軟件包允許自動存儲、檢索和分析圖像。此軟件包允許用戶快速高效地設置和操作資產。VERTEQ 1600-55M采用了最先進和堅固的基於UV LED的曝光源,其設計目的是提供最高質量的曝光結果。這是發射254 nm的短波長UV LED光源，是曝光光刻膠的最佳波長。這樣即使在低劑量下也能使光刻膠曝光的參數具有重復性和穩定性。此外,該型號還有兩種不同的鏡頭組裝選項：一種用於光掩模應用,另一種用於無芯鏡頭,用於亞毫米分辨率。無芯鏡頭具有一毫米特征片尺寸的分辨率能力和高達45度的擺角。所有這些特性使1600-55M成為各種光刻應用的理想選擇。