二手 VERTEQ 1600-55M #9253113 待售
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VERTEQ 1600-55M光刻膠設備是一個模塊化平臺,旨在為光刻膠應用提供優化的成像解決方案。該系統滿足各種光刻技術的高精度成像需求。它被配置為利用範圍廣泛的光刻膠，具有單或雙傳輸，使基板的處理能夠達到200毫米大小。該設備具有較高的吞吐量能力、卓越的圖像質量,並且可以輕松集成到各種流程中。1600-55M可配置光學、反射和透明成像組件。光學成像是通過三個掃描光電子系統完成的。頂光電是單束掃描儀，而兩側光電是多束掃描儀。掃描光電利用高功率光學器件，產生高分辨率的成像能力，具有低線路擴展功能。一臺高分辨率的光學圖像放大機也集成到了小面積特征的工具中。反射成像子系統由激光幹涉放大光學組成，能夠對平面和非平面進行成像。側面光電器件與LIM光學器件一起，提供高精度、高通量的階梯式結構成像。同時，透明成像子系統能夠接觸X射線光學成像，即使是3D結構也能提供出色的成像效果。此外，VERTEQ 1600-55M配備了廣泛的成像參數，為各種光阻應用提供了最佳成像。這些參數包括高精度對準、曝光時間優化、劑量計算和光學補償。直觀的用戶界面簡化了資產的設置和參數的選擇,從而確保了高效且最佳的成像過程。此外，該模型能夠處理多個過程的多種光刻膠類型，使其成為各種光刻膠應用的理想解決方案。總體而言,1600-55M光刻設備提供卓越的成像能力和高通量能力。該系統具有出色的圖像質量、高度可配置的成像參數以及與各種工藝流程的靈活集成,是各種光刻技術的理想成像解決方案。
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