二手 VERTEQ 1600-M #9123187 待售

VERTEQ 1600-M是為基板的精確、高分辨率圖樣設計的數字光刻設備。該系統利用光學成像和激光圖樣在半導體材料和其他基板的表面上創建高度精確和均勻的圖樣特征。光致抗蝕劑單元配備了高品質的掃描儀、激光制圖引擎，以及為用戶提供基板制圖終極控制的先進軟件包。1600-M設計方便用戶且易於操作。憑借其先進的軟件，用戶可以快速修改特征，修改分辨率，並調整其他參數，以達到最佳模式化結果。該機還配備了0.5-40微米的掃描儀，允許不同的基板和激光分辨率。此外,還提供像差校正,這有助於整個基板的特征清晰度。通過變速掃描,該工具能夠獲得較高的吞吐量速率。VERTEQ 1600-M利用雙梁資產進行高精度基板圖樣繪制。該模型由1.06 μ m的激光束組成，與波長可調節至355 nm的UV激光器配對。雙梁機構優化了最佳特征放置和對比度的寫入能力。當激光器被激活時，激光器在基板表面精確均勻地脈沖，精確度和高分辨率圖樣。1600-M還具有若幹安全功能,包括緊急激光切斷、危險防護以及防止一致性和諧波。它的水冷卻設備為激光器和基板提供額外的冷卻，允許精確的基板圖案，同時保護系統免受過熱。VERTEQ 1600-M是一種先進的光阻單元，為半導體材料的圖案化提供了最高的分辨率。憑借其用戶友好的軟件和易於使用的硬件，用戶可以快速在其基板上創建高度精確和統一的模式。其強大的激光機器具有多種安全特性，能夠實現高吞吐率，同時提供可實現的最高分辨率。