二手 VERTEQ 1600-NSC #9366559 待售

VERTEQ 1600-NSC是下一代光阻設備，用於在半導體和其他集成電路器件中創建高精度特征。該系統是一個功能齊全的平臺，包括高精度的掩模對準器、曝光源和化學加工設備。因此,它提供了多種功能的組合,以提高生產能力、可靠性和節省成本。1600-NSC具有精確的5軸掩模對準器,能夠以0.3微米的精度運行,以確保高精度的對準和控制,從而轉換為高產零件。該裝置還使用高頻燈曝光源，可提供快速、可靠的曝光晶圓速度。一種先進的光刻膠選擇允許用戶選擇具有所需的光學特性的抗蝕劑，從而實現高對比度的特性。VERTEQ 1600-NSC內的化學加工機能夠以安全有效的方式去除光致抗蝕劑，並保存各種用於去除的化學品，如幹蝕刻劑、水基溶液和惰性氣體。此外,該工具支持多層工藝技術,如深層溝槽蝕刻或通過填充,並提供有效的晶圓冷卻,以減少光刻、拋光和蝕刻過程中的熱應力。1600-NSC非常適合半導體器件等精密制造。所有資產組件的組合有助於確保高吞吐量和短周期時間,並確保為客戶提供可靠和通用的模型,從而降低生產成本並提高部件的整體質量。