二手 VERTEQ 1600 #293810265 待售

VERTEQ 1600
製造商
VERTEQ
模型
1600
ID: 293810265
晶圓大小: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
VERTEQ 1600是一款最先進的光刻設備,旨在促進半導體行業的光刻應用。該系統采用高強度的紫外線光源,在亞微米電路元件的制造過程中,精確地曝光起蝕刻掩模作用的光刻膜。該單元具有4k像素尺寸和大的8 「x 8」分辨率面罩,允許高質量的光刻性能用於曝光64 mm x 64 mm基板。VERTEQ還利用Quad-Wave成像機,通過以線性或螺旋掃描模式旋轉四個曝光光波來提供高精度曝光,達到極高質量的圖像。該工具還配備了高精度的控制資產,以確保一致的結果,並且可以保持7-10 um的x-y位置公差和25-50 nm的重復性焦點控制。它還具有全自動操作模式,允許用戶編程曝光參數和重復。1600包括多項安全特性,包括防止暴露於紫外線的互鎖模型、確保晶圓被異光屏蔽的蓋板、以及確保精確處理的高度調節傳感器。該設備設計易於使用和維護,體積小巧,重量輕,便於運輸到不同的制造地點。它還具有高能效,旨在盡量減少對昂貴消耗品的需求。總體而言,VERTEQ 1600是一種先進的光刻膠系統,旨在滿足先進半導體產業的需求。該單元為用戶提供了許多好處,包括高精度曝光子系統、自動化操作、用戶友好型設計和安全功能。
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