二手 VERTEQ 1600 #9219679 待售

VERTEQ 1600光抗蝕劑設備是在各種基板上制造集成電路的最先進的工具。它能夠處理直徑從75毫米到450毫米不等的晶圓尺寸。該系統基於垂直掃描電子束（VSEB）光刻工藝。該單元提供了卓越的分辨率和陣列能力，其特征尺寸為半微米及以上。1600具有先進的光束控制機（BCS）,可精確控制光束對準並聚焦於晶圓表面。這樣可以確保工具產生的每個陣列都非常精確。資產還具有其他一些有利的特點，包括內置的光學顯微鏡進行對準，所有對準參數的自動校準程序，快速和精確的階段，以及快速和準確的覆蓋程序。此外，該型號還提供了先進的晶圓加載設備和直觀的用戶界面。VERTEQ 1600為方便光刻工藝，使用了多種標準光刻膠。這些光刻膠可以量身定制，用於不同類型的基板和工藝，從而實現最大的靈活性和精確的特征工程。此外，該系統還提供各種曝光方法，包括激光掃描光刻和接觸光刻。這樣可以在生成特征時獲得最大的精度,並確保沒有一個暴露區域被另一個區域壓倒。總體而言，1600光刻裝置是生產高質量集成電路的強大而可靠的工具。先進的光束對準機、精密晶片級、高分辨率光刻膠和多重光刻方法都結合在一起，產生精確、精確、可重復的結果。這使得VERTEQ 1600成為高性能微電子的傑出選擇。