二手 VERTEQ 1600 #9226188 待售

製造商
VERTEQ
模型
1600
ID: 9226188
晶圓大小: 6"
Spin dryer, 6".
VERTEQ 1600是為1.6m x 1.6m基板設計的先進光刻設備。它利用了獲得專利的HDR(高動態範圍)成像工藝及其515 nm激光陣列,實現了大型基板的最佳成像精度和均勻性。其獨特的HDR過程能夠更快、更幹凈地曝光,沒有光暈效果或其他圖像失真。1600具有先進的曝光算法,以實現高分辨率成像和對能量敏感的基板更快的拍攝時間,同時避免基板失真和針孔。它還利用一個封閉的318nm UV源腔室來實現最大的圖像一致性,以及一個180微米的最小分辨率來進行精密的光刻處理。VERTEQ 1600具有自動基板對準系統,可實現無縫、可重復的批處理,並提高生產率。用戶友好的圖形界面為特定於工作的任務提供了更輕松的可編程性,如偏差字段的校正、孔徑控制以及定量分辨率和各向同性控制。此外,1600支持多種形式的基板運動控制,使其能夠復制比傳統系統更復雜的模式。廣泛的流程和功能使VERTEQ 1600成為所有類型應用程序的通用工具。它非常適合實驗開發和生產過程,廣泛用於印刷電路板、平板顯示器、高分辨率光刻、半導體器件和光學器件的制造。此外,1600是為了最大限度地提高能效和可持續性而設計的,其特點是有一個智能操作單元,沒有危險廢物或排放。這臺機器還易於擴展,使其成為研究、教育和工業過程的理想選擇。
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