二手 VERTEQ 1600 #9226189 待售

製造商
VERTEQ
模型
1600
ID: 9226189
晶圓大小: 6"
Spin dryer, 6".
VERTEQ 1600是由VERTEQ Corporation開發的一種先進的光刻膠設備,用於精確快速的光刻膠沈積。該光刻膠系統具有高通量的抗性塗層,適用於微電子應用。它可以向基材分配精確數量的光刻膠材料,以英寸/秒為單位將其分層成多層。1600為大批量生產提供了卓越的吞吐量,速度高達17 cm2/min。該裝置具有變速和功率控制,可進行精確、精確的塗層和平整.這使得用戶能夠以最小的可變性將均勻厚度的光致抗蝕劑傳遞到基板上。該機器還具有先進的過程監控能力。存儲過程數據和關鍵參數,如厚度值、分配速率和整個過程時間,並可以遠程監視和訪問。該工具還提供圖形用戶界面,操作方便方便。VERTEQ 1600配備了一個集成的分配頭,用於精確的交付和水平控制。這種資產可以分散任何類型的液體光敏材料,從厚到很薄的粘度不等。分配頭是可移動的,可以定位以優化覆蓋整個基板區域。該型號還配備了先進的視覺設備,在沈積光敏材料時精確跟蹤和成像基板的相鄰位置。利用其先進的視覺系統,1600可以將精確的光阻沈積傳遞到基板的任何區域,從而產生高度可重復的圖樣。該裝置設計方便設置和操作。憑借其內置的安全協議和自檢模式,確保了一致、可靠的性能。用戶友好的圖形界面允許用戶創建多達25個定制配方,以節省時間和金錢。總體而言,VERTEQ 1600是一種先進的光刻機,提供可靠的精度和吞吐量.它提供了一系列功能,使用戶能夠優化他們的微電子生產過程,實現優越的光刻沈積。保證用戶具有無與倫比的性能、可靠性和出色的過程控制。
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