二手 VERTEQ 1600 #9234910 待售

VERTEQ 1600
製造商
VERTEQ
模型
1600
ID: 9234910
晶圓大小: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6" DI Water Wafer washer.
VERTEQ 1600光抗蝕劑設備是一種先進的工具,用於從光掩模開始將圖樣消除為光抗蝕劑。該系統具有卓越的曝光精度和可重復性,是半導體制造和其他微加工應用的理想選擇。1600利用專利光學列車,采用平場設計,消除了大多數像差,從而實現了極其精確的成像能力。集成的數字伺服電機振蕩器、動態自動準直器反饋單元,以及內部對角伺服驅動的鏡面安裝,可實現高精度和可重復曝光等無與倫比的特性,以及快速輕松的對準。使用這臺機器,在一個大的視場上可以達到5.0納米的分辨率。該工具具有直觀的用戶界面和易於操作的觸摸屏。其他功能包括打印報告、日誌資產和用戶可編程性。此外,開放式體系結構能夠快速集成和擴展模型。此外,還可以在VERTEQ 1600的默認配置中添加幾個可選附件。1600配備了功能強大、功能廣泛、算法增強的集成處理器。此處理器可確保基板快速準確地曝光,還可通過用戶可調節的設置對設備進行校準,以使用多種類型的光掩碼。基板補償、環繞暴露和邊緣平方等附加特性進一步提高了精度。該系統與標準基板兼容,包括石英、石英/蘇打、玻璃和熔融二氧化矽文件。它還與多種不同的光掩模類型配合使用,如DMD、鉻和氧化鉻。總之,VERTEQ 1600光刻裝置具有較高的精度和可重復性,是高精度微加工應用的絕佳選擇。該機以直觀的用戶界面、多功能集成處理器和可選配件為後盾,從而提供物有所值。
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