二手 VERTEQ 1600 #9245627 待售

製造商
VERTEQ
模型
1600
ID: 9245627
晶圓大小: 4"
Spin Rinse Dryer (SRD), 4" Rated: Voltage: 1Ø, 2 W, 220 VAC Current: 50 A Frequency: 50~60 Hz Power consumption: 1.10 kW.
VERTEQ 1600是一種精密的光刻設備,能夠在光刻過程中實現全面的控制和精確度。該系統是需要高分辨率的應用程序的最佳選擇,在這些應用程序中,註冊難度必須最小化。1600具有高精度的6軸鉸接操縱臂和5軸旋轉模塊,允許最大程度的靈活操作基板。此外,VERTEQ 1600還具有一個正在申請專利的「頂板」,它可以移動以滿足基板要求,從而使設備無需任何接觸即可快速采摘基板。這種精細的工藝結合了精確放置的基板和底板,可以在整個工藝過程中進行精確的定位和控制。1600支持4英寸和6英寸直徑,從而在標準和非標準基板上提供高精度。該機器還提供用戶定義的工藝控制和高分辨率成像功能,這些功能專門為晶圓級工藝配置,包括光刻微調、曝光、顯影和濕法加工。先進的光學設計和波長精度為晶圓對準過程提供了精確的成像和可靠的操作。VERTEQ 1600為底物提供了優越的保護,使其免受環境灰塵或真空密封捕獲工具造成的損壞。資產的低調設計使其能夠適應通常不允許基於全吸盤的解決方案的空間。它符合最新的安全協議,旨在盡量減少有害排放。1600模型提供了光刻的最高精度和可重復性,使其成為需要精確成像的應用的最佳選擇。這種光致抗蝕劑設備專門設計用於處理晶片級工藝的嚴格要求,如光致抗蝕劑微調、曝光、顯影和濕法加工。先進的光學設計、卓越的保護和增強的可靠性使該系統成為當今市場上最好的系統之一。VERTEQ 1600單元是研發和生產應用的理想選擇。
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