二手 VERTEQ 1800-50 #9383157 待售

VERTEQ 1800-50
製造商
VERTEQ
模型
1800-50
ID: 9383157
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Spin Rinse Dryer (SRD), 8" Process: Cobalt 1995 vintage.
VERTEQ 1800-50光刻設備是光刻光刻操作的強大而先進的解決方案。它利用最先進的技術來實現正向光刻加工的最高精度。該系統使用先進的光學器件,為設備維修/更換和其他敏感的光刻膠工藝提供最大精度和性能。該單元包括一個晶圓處理站,一次最多可移動50個晶圓。它還配備了集成的圖像對齊器和無掩模光刻頭。圖像對齊器提供了從設計布局到晶圓的精確和自動的平版印刷模式傳輸。光刻頭有一個照相機,用來監控書寫過程,驗證光刻膠的正確對準。它也是用來對光刻膠成像的光源。該機器具有高精度的自動晶片定位,用於確保多個晶片上圖樣的重復精度。它還包括一種光阻塗層,將正確水平的溶劑施加到晶片基板上,並在制圖過程中將其固定到位。通過工具對曝光時間、對準和摻雜的自動控制,進一步確保了模式的高質量。除了資產的自動化組件外,1800-50還具有手動對準過程,這樣可以對基板的圖樣進行快速、準確的校正。該模型還包括一個先進的警報設備,幫助檢測任何錯誤或故障的模式過程。最後,系統配備了診斷和分析包,可以對晶片及其圖樣進行詳細評估。此分析包包含一個高級模式分析引擎,用於確定模式的質量,並且可以檢測產生的數據中的任何異常。
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