二手 VERTEQ 1800-6 #9070696 待售
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ID: 9070696
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Spin Rinse Dryers (SRD), 8"
(1) Single chamber
(4) Double chambers
Connections: CDA/N2, DI In, N2 In, DI Out
Currently warehoused
2000 vintage.
VERTEQ 1800-6是一種最先進的光刻設備,旨在加快和自動化用於制造電子器件的光刻工藝。它旨在解決即使是最具挑戰性的抗性輪廓要求。1800-6采用135 nm分辨率的高性能投影系統,能夠以極高的精度產生高保真圖像。其高度先進的晶圓加工周期最大限度地減少了缺陷,提高了晶圓產量。VERTEQ 1800-6具有無室前端,因此無需多個晶圓處理組件來降低每個工藝步驟的質量。此單元可確保快速、準確和可重復的配置,從而產生優異的效果。它結合了一系列專為高分辨率、無影成像機而設計的光學元件,並具有緊湊、高速的設置/保持/清潔晶圓環境。1800-6還具有可靠的直接接觸選項,無需大型加工罐和開發人員清潔。該工具是用優質材料制作而成的,旨在在廣泛的環境條件下運行。它還具有強大的控制資產,可自動校準每個參數,使操作員能夠快速設置和微調設備。除了準確性和靈活性,VERTEQ 1800-6被設計為用戶友好和直觀的使用。其用戶友好的GUI界面允許訪問深入的性能優化,同時保持安裝和維護簡單。該型號還支持範圍廣泛的180 nm及以下光刻膠,使用戶能夠快速適應任何材料或生產要求。1800-6是廣泛光刻應用的理想解決方案。它為極高的精度和簡單的操作提供了一個可靠的平臺,可以顯著減少上市時間和提高工藝效率,使其成為任何光刻應用的全面設備。
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