二手 VERTEQ 1800-6AL #293816934 待售

製造商
VERTEQ
模型
1800-6AL
ID: 293816934
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Spin Rinse Dryer (SRD), 8" 2000 vintage.
VERTEQ 1800-6AL是一種先進的光敏處理設備。它是為晶片和基材的開發、制圖和蝕刻而設計的。該系統配備了先進的對準和光刻站,允許精確、可重復、可靠的直接激光圖樣、聚焦和蝕刻。該單元使用高達300 mW的紫外線激光器。該激光器具有高精度和重復性,提供精確的圖樣光刻結構。在處理任何復雜的結構和基板時,聚焦和對準機器提供了最佳的結果。該工具的光致抗蝕劑站專門設計用於處理所有光致抗蝕劑過程,包括旋轉塗層、預烤、顯影和烘烤。該站還包含用於精確測量抗蝕層厚度的資產。設備的蝕刻模型能夠處理不同類型的材料,包括金屬、介電材料和半導體材料。它配備了負壓系統,用於控制蝕刻速率的通量和均勻性。此單元還包括一個溫度控制器,用於適當的蝕刻溫度。1800-6AL包括用於控制和監視機器的軟件包。此軟件允許遠程操作工具並記錄所有結果。它還包含高級遠程診斷和故障排除工具。VERTEQ 1800-6AL是一種先進的光阻處理資產,可提供精確、可重復和可靠的直接激光陣列,聚焦和蝕刻任何復雜的結構和基板。它設計用於處理不同類型的材料,並包含用於控制和監控模型的集成軟件包。這種設備非常適合需要精確和高度受控的光刻工藝的應用。
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