二手 VERTEQ 1800-6AL #9255500 待售

VERTEQ 1800-6AL是一種全自動化學機械拋光（CMP）設備，設計用於半導體器件制造的光刻材料。該系統采用集成控制控制臺和自動化進給單元，可容納各種晶圓尺寸和工藝規格。其光刻平面化設計在整個晶片上提供了更加均勻的表面光潔度，從而提高了產量和器件性能。CMP機采用化學機械拋光（CMP）技術，在光刻晶片上實現精確的表面平面化。它采用兩相工藝，從化學蝕刻開始，以降低光刻膠層的表面粗糙度，然後用物理拋光來平整光刻膠表面。該工具配備了可以改變皮帶張力的壓板配置，以提供對晶圓表面接觸壓力的精確控制。資產反饋回路可確保整個晶圓的均勻拋光速率,從而提高工藝均勻性。1800-6AL使用集成控制控制臺來管理CMP流程。它有一個自動進料模型，在處理過程中根據需要進料和重新裝入晶片，並且配備了自動化拋光參數，可以很容易地針對不同類型的光刻晶片和所需的工藝進行調整。該設備還設有一個內置端點控制系統，可監測CMP工藝的端點，並根據需要調整工藝參數。該裝置是專門為在半導體器件制造中與光刻晶片配合使用而設計的。它非常可靠、易於使用,並具有一系列自動安全功能,例如聯鎖和警報,以保護操作員和設備。它是晶片上光刻層平面化的一種經濟高效的解決方案，其均勻的光潔度降低了屈服損耗，提高了器件性能。