二手 VERTEQ 1800-6AL #9255507 待售

VERTEQ 1800-6AL光刻設備是為光刻應用而設計的集成抗蝕劑沈積和曝光後烘烤（PEB）系統。該設備具有高性能的抗蝕劑輸送功能,以及先進的曝光後烘烤站,可提供專用的溫度和時間設置,以優化工藝的可重復性。1800-6AL采用垂直配置,大大減少了占用空間並簡化了維護。該機具有高精度、耐腐蝕、耐輸送泵和真空文丘裏管的特點，保證了光滑的抗沈積和一致的抗厚度。一個直觀的用戶界面提供了一個易於使用的工具，最多有十二個單獨的配方，允許用戶快速配置他們想要的抵抗環境。此外，該資產還配備了熱板和控制溫度或時間範圍可調。曝光後烘烤站采用鋁結構，熱穩定性高，均勻性強。它還配備了一個高容量的加熱抵抗盤，有助於在整個暴露過程中保持一致的抵抗溫度。VERTEQ 1800-6AL模型非常適合各種光刻應用，設計時考慮了過程和操作員的安全。設備的一個關鍵特點是在發生多個過程故障時具有「故障安全」能力。此功能可確保在這些潛在危險情況下不會對系統造成額外損壞。該單元還設計為完全無維護,允許用戶識別延長的使用壽命和最低維護成本。總之，1800-6AL光致抗蝕劑機是需要重復高精度抗蝕劑輸送和均勻曝光後烘烤溫度的應用的理想選擇。它的設計考慮了過程和操作員的安全,並具有直觀的用戶界面和故障安全功能,使此工具成為高級光刻工藝的理想選擇。