二手 VERTEQ 1800-6AL #9255522 待售

VERTEQ 1800-6AL是一種光致抗蝕劑設備,旨在提供精確、高效的基板陣列。該系統采用低壓、高速、激光技術的曝光裝置，具有精確的模式對準。曝光機能夠產生0.25至1.5微米的分辨率，對於多倍技術，曝光量可達6紫外線波長。激光照射能夠照射20瓦和50瓦激光功率，並且對對準層的照射也有偏振作用。該工具還提供無像差分辨率的高速無掩模陣列照明（MAI）曝光,以及高速軸同步曝光技術和被動熱管理資產。該模型具有x、y、z測量和曝光自動化以及監控設備,可實現精確和可重復的模式。1800-6AL還包括一個多級卡帶曝光站和一個曝光臂穩定系統。這兩項功能都有助於提高流程穩定性和性能,並使設備能夠高效、連續地運行。VERTEQ 1800-6AL非常適合傳統的光刻工藝，如直接書寫光刻和印記光刻，以及支持各種其他工藝步驟，包括濕處理和納米顆粒沈積。該機可用於圖案廣泛的基板，如液體-外延生長的器件層，金屬，陶瓷，聚合物和玻璃。在安全方面,該工具符合CE標準,具有緊急停止和緊急訪問功能,可在危險情況下快速關閉。此外,資產能夠自動監控基板輪廓和陣列結構的對齊,確保所有工藝步驟都遵循最嚴格的公差。1800-6AL是一種精密可靠的光刻膠模型，具有優異的分辨率，提高了工藝穩定性和安全性。它的多倍激光曝光技術和自動監控設備提供了一致和準確的結果，使得這個系統非常適合一系列的光刻過程。