二手 VERTEQ 1800-6AR #9070694 待售
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單擊可縮放
ID: 9070694
Spin rinse dryer, (SRD), 8"
Single chamber
Connections: CDA/N2, DI In, N2 In, DI Out
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VERTEQ 1800-6AR光致抗蝕劑設備是世界各地許多生產過程的重要組成部分。該系統是一個功能強大、精密的單元,使用戶能夠使用多種方法和材料原料來構建、清潔和修理基板。該機由一個帶內置光源的光罩對準器和一個精密的抵抗旋轉器組成。光掩模對齊器用於使用一系列預定的掩模將基板分成特定的形狀。然後,光學對準工具相應地對準裸露材料層。層暴露後,抗蝕劑旋轉器再將光致抗蝕劑材料施加到基板上。可以使用不同的光致抗蝕劑材料來確保對激光輻射的敏感性,同時仍然保留敏感區域。精密抗蝕劑旋轉器能夠以高達18,000 RPM的速度旋轉基板,以確保準確和精確的層沈積。在其最高設置下,旋轉器以最小的偏差對基板施加均勻的厚度,從而允許精確放置層。它還具有低扭矩水平,使操作員在整個過程中移動基板時能夠輕松保持恒定的旋轉速度。旋轉器還包括防漏空氣支撐資產,以確保安全和空氣敏感材料不受汙染。該模型具有溫度控制器,使基板上的空氣保持恒定的純度水平。該設備是電荷中性的,這就不需要額外的電源或直流源將抗蝕層綁定到基板上。此功能進一步減少了汙染並簡化了工藝過程,同時提高了層放置的準確性。1800-6AR光刻系統是一個高度先進和直觀的單元,具有一致構建具有嚴格公差的組件所需的所有特征。這臺機器是為商業供應商和最終用戶設計的。
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