二手 VERTEQ 1800-6AR #9073860 待售

VERTEQ 1800-6AR是為工業生產高質量光刻口罩而設計的最先進的光刻設備。該系統特別適合生產微處理器、半導體元件和MEMS元件。掩蔽過程是集成電路制造中的重要步驟,1800-6AR有助於減少此關鍵過程的時間和成本。VERTEQ 1800-6AR利用高性能的離子束濺射裝置將光致抗蝕劑沈積到基質上。機器有一個六軸機械臂，以受控和均勻的方式移動基板，確保光刻膠在基板的所有表面上一致和準確的滴落。這允許以高精度創建大型和復雜的模式。1800-6AR配有強大的光源和先進的成像工具，以確保抗蝕劑的適當曝光。曝光率是可調整的,可以在不影響分辨率的情況下更快地曝出抗蝕劑。成像資產還可以檢測模式結構中的缺陷，以便於缺陷檢測和管理。VERTEQ 1800-6AR內置化學顯影劑模型和精密噴水設備。化學顯影劑系統除去未暴露在光線下的過量抗蝕劑。這樣就可以快速、準確地開發模式。精密的噴水裝置確保了光刻膠的精確、均勻的洗滌，從而產生了高質量的光刻面膜。除了高性能外，1800-6AR還擁有直觀的用戶界面。這使操作員能夠從頭到尾快速、輕松地編程和控制掩蔽過程。VERTEQ 1800-6AR還具有內置診斷程序,可在進行掩蔽過程時監視機器性能並檢測問題。1800-6AR是一種可靠和高效的光刻工具，可用於生產用於集成電路的高質量光刻口罩。憑借其先進的成像資產、高精度的機器人臂和直觀的用戶界面,VERTEQ 1800-6AR是掩蔽過程的理想解決方案,需要精確和快速。