二手 VERTEQ 1800-6AR #9228771 待售

VERTEQ 1800-6AR是專為微加工而設計的光刻膠設備。它是一種具有真空能力的機器，使用多柱配置來制作最精確的光刻膠圖樣。該系統在使用III-V材料等高靈敏度基板時特別有利，因為它提高了圖案精度和精度。這個單元的核心是它的旋轉階段，它允許基板在XYZ的所有六個方向上移動。這種運動，加上6軸機械臂，提供了放置薄膜抗蝕層的最高精度。機械臂還作為一對光子能源面板的載體，產生光刻過程中使用的紫外線。在1800-6AR機器中，機械臂和旋轉級均由兩臺高性能伺服電機驅動，可實現廣泛的運動範圍和高重復性。此外，該工具還配備了可編程的溫度控制工具，使工作環境和基板保持恒定一致的熱量水平，從而實現最精確的模式。為了制作完美準確的圖樣，資產配備了激光和光學對準的集成模型。這確保了準確的曝光，同時允許基板以逐點方式曝光。這保證了一個沒有偏差的統一模式的體驗。VERTEQ 1800-6AR設備還配備了先進的數據處理和通信解決方案。機械臂能夠將數據從其測量系統直接傳輸到計算機，程序員和工程師可以在那裏快速調整路由、壓力和溫度。這使系統在微加工過程中反應最快，靈活性最大。高精度的控制能力，加上出色的亞納米精度，使得該單元非常適合以極高的精度和分辨率創建圖案。此外,該機器還提供集成但相當詳細的錯誤跟蹤系統,以及智能機器邏輯功能,可幫助檢測錯誤並提供自動更正。這樣可以確保無懈可擊的生產產出。總體而言，1800-6AR是一種極為精確的光刻工具，具有廣泛的特性和能力，可協助進行微加工。這種資產提供了最高的準確性，同時盡可能減少人際交往風險。該模型兼具自動化機器人和光刻引擎的能力,使其能夠跟上現代技術的進步,並在要求最苛刻的微加工環境中提供精確度。