二手 VERTEQ 1800-6AR #9316070 待售
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VERTEQ 1800-6AR光致抗蝕劑設備是一種高度先進的化學加工系統，用於制造集成電路和其他電子器件中使用的光致抗蝕劑層的自動在線化學開發和蝕刻。這個單元由多個模塊組成，能夠支持各種各樣的化學和工藝。這些模塊包括開發模塊、蝕刻模塊、清潔室模塊、電鍍模塊和廢物管理模塊。每個模塊都可以單獨操作,並且可以連接在一起以創建一臺全自動機器。顯影劑模塊利用化學浴從晶片的裸露區域中去除光致抗蝕劑。化學品開發過程在一個完全封閉的室內進行，確保所有必要的安全和處理條件得到維持。在該過程中，顯影劑溶液在整個腔室中循環，光致抗蝕劑暴露在化學浴中，使其分解並溶解到溶液中，使晶片的區域裸露，準備進行額外處理。采用蝕刻模組除去多余的光刻膠，減小晶片的整體厚度。這一過程通常是在一個封閉的腔室中進行的，在該腔室中使用化學溶液從晶片表面蝕刻出光致抗蝕劑。該工藝可以高度精確和精確地控制從晶片中除去的物料數量，以達到所需的抗蝕性厚度。潔凈室模塊確保光致抗蝕劑工藝在清潔和受控的環境中進行，因為化學蒸氣產生的汙染和殘留物容易降低成品電子設備的質量。對空氣質量進行密切監測和過濾，以消除空氣中的微粒並保持最佳工作環境。電鍍模塊用於將金屬沈積物電鍍到晶片的光致抗蝕劑暴露表面。在這個過程中，金屬化合物被懸浮在液體溶液中帶電，允許一層薄薄的金屬沈積到晶片上。最後，廢物管理模塊確保在光致抗蝕劑過程中產生的所有危險廢物材料都得到安全處置。這可能涉及收集、儲存和運輸到經批準的廢物處置場。綜上所述，1800-6AR光刻工具是一種能夠制造集成電路和其他電子設備的化學加工資產。該模型由五個操作模塊組成-一個開發人員、一個蝕刻、一個潔凈室、一個電鍍和一個廢物管理模塊-這些模塊結合在一起後就可以實現完全自動化的過程。設備高度精確，確保環境清潔和受控，安全處置所有危險廢料。
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