二手 VERTEQ 1800-6AR #9328733 待售

VERTEQ 1800-6AR是設計用於微電子制造的最先進的光阻設備。它是一個模塊化的、高分辨率的、基於由機械模塊、曝光模塊和移動表組成的對齊表的一步光刻系統。該單元包括對齊表、步進/掃描儀模塊和步進/掩碼對齊模塊。對齊表具有雙軸（X, Y）可調線性級，精度為1.4 µm。步進/掃描儀模塊由電動全孔徑遠心照明器、自動調節聚焦機和電動晶片級組成。步進/掩模對準模塊允許將掩模精確覆蓋到晶圓上。該工具由高級微處理器控制單元提供動力,該單元能夠控制曝光過程的各個方面,從對齊檢查到像素大小和曝光時間。該資產有一個嵌入式暗室，具有用於紅外預曝光、後曝光和開發過程的全功率控制模型。該設備還設有一個綜合粒子計數器，用於測量紫外線或I線工作室的清潔度，以及粒子/清潔活動監測。1800-6AR可提供高達12 µm的分辨率,特征尺寸小至2.0微米。該系統提供調諧帶寬（FW/BW）,對所有非關鍵特性調諧小於20%,對短特性調諧分辨率高。該設備方便用戶使用,可采用自動化或半自動格式操作,從而在不影響準確性的情況下實現高效的工作流程。VERTEQ 1800-6AR是一種可靠、高性能的光刻機床，在微電子制造應用中有著優異的記錄。它的動態範圍、高分辨率、易於使用的界面和集成的粒子計數器使其成為任何微電子實驗室和生產環境的絕佳選擇。