二手 VERTEQ 1800 #293814784 待售

VERTEQ 1800是由VERTEQ Robotics and Automation開發的光刻膠設備，用於微加工過程。它是一種先進的電光系統，利用光刻技術有選擇地在晶片上暴露抵抗的區域。該單元可用於在微觀和納米級基板上如半導體、醫用和光電器件，如超大規模集成（VLSI）和MEMS應用上的微小特征圖樣化。該機由一個主平臺容納晶片、一個允許精確操縱光斑大小的透鏡工具、一個電動舞臺驅動器資產、一個大功率激光、一個監視器和照相機以及一個計算機處理器組成。激光用於在晶片表面上繪制抗蝕劑的圖樣。激光束通過一系列透鏡聚焦，在基板上創造出精確的光斑大小。利用級驅動模型將晶片定位在激光光束傳送的精確位置。先進的照相機設備允許實時精確激光對準。用光刻膠制圖的過程開始於在基板上施用光刻膠。抗蝕劑隨後暴露於光中，與抗蝕劑分子引發化學反應。這會在基板上產生所需圖樣的正向或負向圖像。可以使用CAD文件或手動輸入的信息對系統進行編程,這樣可以將激光精確定位到光刻膠上。一旦激光被定位，它的電源和抗蝕劑暴露導致一個圖案基板。1800單元設計具有先進的安全功能，如激光安全籠和強制安全互鎖，以確保人員安全。機器具有多種功能，允許在光刻過程中具有靈活性，如圖像捕捉工具、多點曝光以及用戶定義設置庫。資產擁有成本低，為用戶提供了一個經濟的過程，可用於各種應用程序。VERTEQ 1800光抗蝕劑模型是先進技術與成本效益的獨特結合，為用戶提供了可靠高效的微加工工藝。它為小型項目提供了精確和靈活性，並為大批量應用提供了可靠的圖樣基板來源。利用1800臺設備,用戶能夠以高精度、高質量和高一致性的微觀水平生產設備。