二手 VERTEQ 1800 #293816247 待售

製造商
VERTEQ
模型
1800
ID: 293816247
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Spin Rinse Dryer (SRD), 8" 2000 vintage.
VERTEQ 1800是一種高度通用的光阻設備,旨在實現先進的材料研究、納米加工和光學光刻應用。該系統由兩個主要組件組成:激光/光學子系統和樣品安裝子系統。激光/光學子系統由高功率(最多1800mJ個)激光器組成,其脈沖寬度範圍很大,以符合手頭應用程序的要求。它具有一系列可調節的特征,包括能夠調整光束大小、焦點和掃描模式。該子系統還包括一個大幅面數碼攝像機,具有寬大的視角,便於激光相對於樣品的精確定位。樣品安裝子系統旨在確保光刻過程中的安裝安全可靠。該單元包括一個可移動的檢查罩,它允許快速和方便地檢查樣品表面。樣品安裝托盤的設計可容納各種樣品尺寸,從晶圓尺寸的樣品到1英寸厚的樣品。其集成的真空和被動對準系統允許在光刻過程中精確放置樣品。總體而言,1800為先進材料研究、納米加工和光學光刻應用提供了全面可靠的光刻機。其高功率激光器旨在為用戶提供以驚人的精度和精確度創建各種功能的能力。此外,它的樣品安裝子系統在光刻過程中提供了一個安全可靠的安裝,而它的內置檢查罩使樣品表面的檢查變得容易。
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