二手 VERTEQ 1800 #293816933 待售

VERTEQ 1800是為滿足微電子制造的多樣化需求而設計的下一代光刻設備。該系統提供了一種快速、精確的方法來陣列復雜的3D結構與精細的分辨率級別。該單元能夠創建垂直分辨率高達1.2 µm和橫向分辨率低至5 nm的模式。1800機器包括許多不同的組件。該工具使用兩個準分子激光源產生紫外線，然後將其定向到抗蝕劑表面。這種光破壞了抗蝕劑，使模式得以形成。資產還包括用於在激光器和抗蝕劑之間移動元件的傳送帶模型。該設備能夠處理多種材料，包括聚酰亞胺、SiO2和BCB。它還具有加工各種基材的能力，如玻璃、石英和矽。此外,VERTEQ 1800還能夠使用各種保護性塗層,包括自旋材料、防反射層和硬質口罩。該系統帶有高度可定制的軟件套件,大大簡化了設計和創建模式的過程。此外,該軟件還使用戶能夠利用實時反饋和校正功能來構建和完善模式。1800年的靈活性和速度使得它非常適合快速原型設計復雜的設計。總體而言，VERTEQ 1800是一個強大而可靠的光刻裝置，提供了現代光刻中的多功能性和精確要求。它能夠快速、準確地產生具有亞微米分辨率級別的陣列,這使其成為各行業制造商的寶貴工具。