二手 VERTEQ 1800 #9144794 待售

VERTEQ 1800是用於高精度光刻的先進光刻設備。1800由VERTEQ開發，是一種工業級工具，用於半導體和微電子制造，以及光學應用，如LED制造。VERTEQ 1800具有一個大的10 "x 20"板，能夠處理直徑可達9.5"的晶圓尺寸。這非常適合一次處理多個晶片，並允許高效生產具有低缺陷率的復雜結構和設備。該系統還實現了一個自動晶片處理單元，將晶片從裝載機安全輸送到曝光室。使用集成的電動x-y級，光刻膠以有組織和可重復的方式分配。對於精密光刻,1800具有6軸光刻頭,能夠以卓越的一致性方便分辨率高達4 µm。這是通過使用可變蒙版輪廓機（VMPS）實現的,該機與精密齒輪驅動的機械級協同工作,以確保對準精度。該工具還可以在手動模式下使用，允許用戶快速、輕松地創建自定義模式。VERTEQ 1800采用先進的專有軟件，使用戶可以輕松控制光刻資產，優化曝光時間、分辨率、對比度等變量。為了實現更大的控制,模型可以與其他生產工具連接,從而實現自主操作。除了標準的特性範圍之外，1800還有一些附加功能，使其與其他光刻膠系統脫穎而出。例如，設備具有專用的基板加熱功能，可確保先進加工的最佳溫度。該系統還具有集成的3D成像功能,可實現功能尺寸不超過幾納米的無損成像。最後,該設備配備了一系列復雜的安全功能,確保了安全高效的環境。VERTEQ 1800是一款功能強大、可靠的光刻機，旨在精簡復雜微電子和光學元件的制造。1800具有大板尺寸和精密的集成功能,是高端生產環境的理想工具。