二手 VERTEQ 1800 #9410983 待售

製造商
VERTEQ
模型
1800
ID: 9410983
晶圓大小: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
VERTEQ 1800是為PCB生產、MEMS、先進包裝等錯綜復雜的微電子制造工藝而設計的最先進的光刻設備。先進的系統提供卓越的光刻膠分辨率和高的曝光精度,使其非常適合各種潛在的應用。1800利用高端汞暴露源,使其能夠在18 J/cm ²/秒時暴露,從而產生0.1-0.2 μ m的生產級特征,最小寬度,準確度為正負5%。該單元基於蒙版的曝光技術使用戶能夠對模式的不同部分應用不同的曝光劑量。這允許在MEMS等領域進行極高分辨率的制造。VERTEQ 1800采用先進的高靈敏度光學機器設計。它還使用100毫秒的閃光燈,以及直接成像技術,檢測來自抵抗模式的光散射。整個工具包括一個先進的抗蝕劑處理站,能夠對微電子抗蝕劑材料進行可重復和全面的管理。1800是一項完全集成的資產,使用戶可以享受最佳吞吐量和較低的可操作性成本。它采用全自動抗蝕劑裝卸機制和優化的工藝流程,使用戶能夠快速執行光刻塗層、曝光和開發等工藝。總體而言,VERTEQ 1800是一種高容量、可靠和高效的光刻膠模型,它以高精度為用戶提供生產級特性的優勢。其先進的特點使其成為各種微電子制造需求的可行選擇,並為用戶提供了一種經濟高效的光刻膠生產解決方案。
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